晶片工具制造商日本Fluoro福樂推出新品——非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤

伯努利查克利用伯努利原理，通過噴出空氣，產(chǎn)生更強(qiáng)大的吸力。輸送物與伯努卡盤的表面端點接觸，不旋轉(zhuǎn)，并且可以在非接觸狀態(tài)下以穩(wěn)定的保持力輸送晶片中心。為了用一個本體部對應(yīng)各晶片尺寸而設(shè)計。

導(dǎo)向制動器和晶片點接觸

引導(dǎo)環(huán)白色銷將晶片放置在4個位置的內(nèi)側(cè)，然后按下啟動按鈕，晶片將懸浮并靠近中心。然后，用黑角銷固定，可進(jìn)行非接觸式輸送。

●持手的使用角度20度，45度，從90度的3點主體部能選擇。（使用角度為固定角度，使用角度的改變只有通過改變機(jī)身部分才能改變）

●導(dǎo)軌制動器有一個平緩的錐度，因此晶圓邊緣點接觸。

●抗靜電聚碳酸酯使用的引導(dǎo)環(huán)，通過目視的定位和吸力狀態(tài)的確認(rèn)能。

●由于主體部導(dǎo)電性尼龍樹脂的采用謀求了輕量化。

●雙面都有圖案印刷，50 μ m的薄能對應(yīng)處理困難的晶圓。

●也對應(yīng)為角型等對象物量身定做的設(shè)計品。

●開關(guān)可以選擇按鈕或拉桿。

產(chǎn)品簡介

◆請從使用角度20度，45度，90度的3點選擇主體部。（見下文圖片）

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