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晶片工具制造商日本Fluoro福樂推出新品——非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤

日期:2024-10-03 11:28
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摘要:非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤 BC 系列(導(dǎo)電)主體可選擇20度、45度、90度,水平放置的BC-K系列支持2英寸至12英寸。 (使用角度是固定的,不改變主體就無法改變使用角度。) 由于導(dǎo)向擋塊具有平緩的錐度,因此晶片的邊緣會在一點處接觸。 由抗靜電聚碳酸酯制成的導(dǎo)向環(huán)可以目視確認(rèn)定位和吸附狀態(tài)。 主體采用導(dǎo)電尼龍樹脂,實現(xiàn)了輕量化。 它可以處理雙面印刷有圖案的晶圓,以及難以處理的薄至 50μm 的晶圓。 我們還支持與目標(biāo)對象相匹配的定制設(shè)計產(chǎn)品,例如方形。

伯努利查克利用伯努利原理,通過噴出空氣,產(chǎn)生更強(qiáng)大的吸力。輸送物與伯努卡盤的表面端點接觸,不旋轉(zhuǎn),并且可以在非接觸狀態(tài)下以穩(wěn)定的保持力輸送晶片中心。為了用一個本體部對應(yīng)各晶片尺寸而設(shè)計。

導(dǎo)向制動器和晶片點接觸

引導(dǎo)環(huán)白色銷將晶片放置在4個位置的內(nèi)側(cè),然后按下啟動按鈕,晶片將懸浮并靠近中心。然后,用黑角銷固定,可進(jìn)行非接觸式輸送。

特長

●持手的使用角度20度,45度,從90度的3點主體部能選擇。(使用角度為固定角度,使用角度的改變只有通過改變機(jī)身部分才能改變)

●導(dǎo)軌制動器有一個平緩的錐度,因此晶圓邊緣點接觸。

●抗靜電聚碳酸酯使用的引導(dǎo)環(huán),通過目視的定位和吸力狀態(tài)的確認(rèn)能。

●由于主體部導(dǎo)電性尼龍樹脂的采用謀求了輕量化。

●雙面都有圖案印刷,50 μ m的薄能對應(yīng)處理困難的晶圓。

●也對應(yīng)為角型等對象物量身定做的設(shè)計品。

●開關(guān)可以選擇按鈕或拉桿。

產(chǎn)品簡介

◆請從使用角度20度,45度,90度的3點選擇主體部。(見下文圖片)


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