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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本SIMCO中國(guó)(重慶代理)重慶內(nèi)藤

  • 產(chǎn)品型號(hào):擴(kuò)展 ISO Class 1,10nm 兼容在線 N2 離子發(fā)生器型號(hào) 4214
  • 產(chǎn)品廠商:日本SIMCO
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
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簡(jiǎn)單介紹:
使用支持超低顆粒的單晶硅電極。 獨(dú)特的清潔機(jī)制,不會(huì)向外部釋放顆粒,確保長(zhǎng)時(shí)間保持穩(wěn)定的清潔度 采用無(wú)需任何調(diào)整的智能控制電路 內(nèi)置傳感器持續(xù)監(jiān)測(cè)離子生成,實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除。 集成緊湊型設(shè)計(jì),內(nèi)置控制器和電源 自動(dòng)高壓關(guān)閉功能可在低流量下保護(hù)產(chǎn)品 先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝和其他超低顆粒應(yīng)用的理想選擇 24V 直流驅(qū)動(dòng)
詳情介紹:

擴(kuò)展 ISO Class 1,10nm 兼容在線 N2 離子發(fā)生器型號(hào) 4214

按功能 [在線離子發(fā)生器]

即使在高純度 N2 環(huán)境中,4214 型離子發(fā)生器也支持“擴(kuò)展 ISO 等級(jí) 1,10nm”的高清潔度,并實(shí)現(xiàn)了出色的離子平衡。

下載資料

 
特征
  • 使用支持超低顆粒的單晶硅電極。
  • 獨(dú)特的清潔機(jī)制,不會(huì)向外部釋放顆粒,確保長(zhǎng)時(shí)間保持穩(wěn)定的清潔度
  • 采用無(wú)需任何調(diào)整的智能控制電路
  • 內(nèi)置傳感器持續(xù)監(jiān)測(cè)離子生成,實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除。
  • 集成緊湊型設(shè)計(jì),內(nèi)置控制器和電源
  • 自動(dòng)高壓關(guān)閉功能可在低流量下保護(hù)產(chǎn)品
  • 先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝和其他超低顆粒應(yīng)用的理想選擇
  • 24V 直流驅(qū)動(dòng)
 
規(guī)格
輸入電壓 24V DC +/- 5% 6W 典型值。
離子平衡 <+/- 25V 150mm 距離 40LPM 無(wú)管道連接
靜電消除時(shí)間 <10sec 150mm 距離 40LPM 無(wú)管道連接
+/- 1kv → +/- 100v 通過充電板監(jiān)視器
離子發(fā)生法 電暈放電式高頻交流方式
清潔度 ISO Class1,0.1 微米“擴(kuò)展 ISO Class1,10nm”*
電極 單晶硅可更換
對(duì)應(yīng)吹掃氣體 N2> 99.998%
流量 40LPM (36.5Kpa) -90LPM (171kpa)
*大吹掃壓力 207Kpa (= 100LPM 流量)
*高氣體溫度 60℃
N2 吹掃連接 世偉洛克 3/8" OD 管道
電離 N2 連接 1 / 4NPT 內(nèi)螺紋接頭或可選接頭
28-25710-SC 用于世偉洛克 1/2"OD 管道連接
工作溫度限制 15-60℃
信號(hào)輸出 打開/關(guān)閉觸點(diǎn)的警報(bào)和離子滴輸出
尺寸 長(zhǎng) 152.4mm x 寬 72.4mm x 深 32mm 不包括
管道
重量 640g
外部的 不銹鋼
安裝方法 背面 M5 螺絲 螺紋長(zhǎng)度必須小于 10 毫米

關(guān)于擴(kuò)展的 ISO 等級(jí) 1,10nm
? 這是 ION Systems **定義的清潔度定義,用于支持細(xì)顆粒管理。ISO14644-1 定義的*小粒徑為 100 nm。Extended ISO Class 1,10nm 使用與 ISO14644-1 相同的計(jì)算粒子允許數(shù)的公式,允許粒子數(shù)為 1200pc/m3(34 pc/ft3),粒徑為 10nm 或更大。

 

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