主營(yíng)產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
使用支持超低顆粒的單晶硅電極。
獨(dú)特的清潔機(jī)制,不會(huì)向外部釋放顆粒,確保長(zhǎng)時(shí)間保持穩(wěn)定的清潔度
采用無(wú)需任何調(diào)整的智能控制電路
內(nèi)置傳感器持續(xù)監(jiān)測(cè)離子生成,實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除。
集成緊湊型設(shè)計(jì),內(nèi)置控制器和電源
自動(dòng)高壓關(guān)閉功能可在低流量下保護(hù)產(chǎn)品
先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝和其他超低顆粒應(yīng)用的理想選擇
24V 直流驅(qū)動(dòng)
詳情介紹:
擴(kuò)展 ISO Class 1,10nm 兼容在線 N2 離子發(fā)生器型號(hào) 4214
按功能 [在線離子發(fā)生器]
即使在高純度 N2 環(huán)境中,4214 型離子發(fā)生器也支持“擴(kuò)展 ISO 等級(jí) 1,10nm”的高清潔度,并實(shí)現(xiàn)了出色的離子平衡。
特征
- 使用支持超低顆粒的單晶硅電極。
- 獨(dú)特的清潔機(jī)制,不會(huì)向外部釋放顆粒,確保長(zhǎng)時(shí)間保持穩(wěn)定的清潔度
- 采用無(wú)需任何調(diào)整的智能控制電路
- 內(nèi)置傳感器持續(xù)監(jiān)測(cè)離子生成,實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除。
- 集成緊湊型設(shè)計(jì),內(nèi)置控制器和電源
- 自動(dòng)高壓關(guān)閉功能可在低流量下保護(hù)產(chǎn)品
- 先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝和其他超低顆粒應(yīng)用的理想選擇
- 24V 直流驅(qū)動(dòng)
規(guī)格
輸入電壓 | 24V DC +/- 5% 6W 典型值。 |
---|---|
離子平衡 | <+/- 25V 150mm 距離 40LPM 無(wú)管道連接 |
靜電消除時(shí)間 |
<10sec 150mm 距離 40LPM 無(wú)管道連接 +/- 1kv → +/- 100v 通過充電板監(jiān)視器 |
離子發(fā)生法 | 電暈放電式高頻交流方式 |
清潔度 | ISO Class1,0.1 微米“擴(kuò)展 ISO Class1,10nm”* |
電極 | 單晶硅可更換 |
對(duì)應(yīng)吹掃氣體 | N2> 99.998% |
流量 | 40LPM (36.5Kpa) -90LPM (171kpa) |
*大吹掃壓力 | 207Kpa (= 100LPM 流量) |
*高氣體溫度 | 60℃ |
N2 吹掃連接 | 世偉洛克 3/8" OD 管道 |
電離 N2 連接 |
1 / 4NPT 內(nèi)螺紋接頭或可選接頭 28-25710-SC 用于世偉洛克 1/2"OD 管道連接 |
工作溫度限制 | 15-60℃ |
信號(hào)輸出 | 打開/關(guān)閉觸點(diǎn)的警報(bào)和離子滴輸出 |
尺寸 |
長(zhǎng) 152.4mm x 寬 72.4mm x 深 32mm 不包括 管道 |
重量 | 640g |
外部的 | 不銹鋼 |
安裝方法 | 背面 M5 螺絲 螺紋長(zhǎng)度必須小于 10 毫米 |
關(guān)于擴(kuò)展的 ISO 等級(jí) 1,10nm
? 這是 ION Systems **定義的清潔度定義,用于支持細(xì)顆粒管理。ISO14644-1 定義的*小粒徑為 100 nm。Extended ISO Class 1,10nm 使用與 ISO14644-1 相同的計(jì)算粒子允許數(shù)的公式,允許粒子數(shù)為 1200pc/m3(34 pc/ft3),粒徑為 10nm 或更大。