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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科離子注入機重慶內(nèi)藤販賣

  • 產(chǎn)品型號:IMX-3500
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
離子注入機 用于研發(fā)的中電流離子注入機 IMX-3500
詳情介紹:
離子注入機

用于研發(fā)的中電流離子注入機IMX-3500

中電流離子注入機IMX-3500是一款*大能量為200 kV、晶圓尺寸可達(dá)8英寸的離子注入機,是高校研發(fā)的理想選擇。

特征

  • 它的*大晶圓尺寸為 8 英寸,并配備了與非晶基板兼容的壓板。
  • 除了氣體源,B、P、As離子都可以作為離子源,也可以使用易于**處理的固體蒸發(fā)源。
  • 高壓端子部分采用與量產(chǎn)設(shè)備相同的配置,確保高可靠性。

規(guī)格

活力 30-200keV(可選3-200keV兼容)
*大束流 11B + 400μA (200keV)
31P + 600μA (200keV)
*小束流 150nA
離子種類 B、P、As、Si、Ge、Sb、In 等
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渝公網(wǎng)安備 50019002501360號

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