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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本ULVAC愛(ài)發(fā)科重慶內(nèi)藤優(yōu)勢(shì)出售

  • 產(chǎn)品型號(hào):ULDEX-1600
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛(ài)發(fā)科
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
批量式干法蝕刻設(shè)備 ULDEX-1600
詳情介紹:

ULDEX-1600是一種太陽(yáng)能電池硅基板,它是一種提供引入蝕刻氣體并利用高頻功率形成表面凹凸結(jié)構(gòu)的工藝的器件。通過(guò)在硅基板的表面形成低反射的凹凸結(jié)構(gòu),可以提高太陽(yáng)能電池的光吸收率,有助于提高電池轉(zhuǎn)換效率。
ULDEX_data.jpg

特征

  • 高產(chǎn)量:4000pcs./hr
  • 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單:腔內(nèi)無(wú)驅(qū)動(dòng)
  • 維護(hù)簡(jiǎn)單

采用

  • 單晶硅襯底
  • 多晶硅襯底
  • 類單晶硅板

規(guī)格

ULDEX-1600
晶圓尺寸 (mm) □ 156
托盤(pán)安裝數(shù)量(□ 156mm) 100 件。
房間組成 1) 工藝室 2 間客房
2) 傳送機(jī) 選項(xiàng)
吞吐量 4000(ULVAC 標(biāo)準(zhǔn)條件)
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