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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:Nidec尼得科半導(dǎo)體制造晶片接合內(nèi)藤naitokikai

  • 產(chǎn)品型號(hào):常溫晶片接合裝置BONDMEISTER
  • 產(chǎn)品廠商:日本Nidec尼得科
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
開(kāi)啟接合工藝新天地的常溫晶片接合裝置 兩枚晶片在常溫下牢固接合……這種夢(mèng)幻般的接合方式就是通過(guò)表面活化實(shí)現(xiàn)常溫接合。 通過(guò)常溫(室溫)工藝可以獲得與母材相當(dāng)?shù)恼澈蠌?qiáng)度。 由于不會(huì)因接合而產(chǎn)生熱應(yīng)變和熱應(yīng)力,因此容易應(yīng)對(duì)小型化,且器件質(zhì)量穩(wěn)定。 因?yàn)椴恍枰訜?冷卻時(shí)間,所以可以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量。 可以連接多種材料。此外,可以連接不同的材料。 特點(diǎn) 高效的生產(chǎn)流程工藝 高粘合強(qiáng)度 銷售中心-重慶內(nèi)藤naitokikai
詳情介紹:

產(chǎn)品信息

基本信息

  MWB-04 / 06-R MWB-04 / 06 / 08-AX MWB-08 / 12-ST
產(chǎn)品圖片
處理單元 1個(gè)關(guān)節(jié) 10個(gè)關(guān)節(jié) 5套(*多)
晶圓尺寸 100mm / 150mm 100mm / 150mm / 200mm 300mm / 200mm
駕駛模式 半自動(dòng) 全自動(dòng)/半自動(dòng) 全自動(dòng)/半自動(dòng)
層壓精度 ± 2 μm(我們的實(shí)際值(注1)) ± 2 μm(我們的實(shí)際值(注1)) ± 2 μm(我們的實(shí)際值(注1))
表面活化 離子槍 離子槍/FAB槍 氬快原子束
壓焊機(jī)構(gòu) 高達(dá) 20kN 高達(dá) 100kN *大施加載荷 200kN
結(jié)盟 紅外線透射/反射法 紅外線透射/反射法 紅外線透射/反射法
真空室 接合室10-6 Pa 單位 接合室10-6 Pa 單位 1.0 × 10-5 Pa 單位
公用事業(yè) 氬氣、氮?dú)?、壓縮空氣 氬氣、氮?dú)狻嚎s空氣 氬氣、氮?dú)?、壓縮空氣
電源(200V、100V) 電源(200V、100V) 電源(200V、100V)

(注 1) 實(shí)際值數(shù)據(jù)并非保證值。

產(chǎn)品特征

常溫接合廣泛用于以下幾類:
  • 晶片級(jí)封裝
    特別對(duì)于MEMS和晶體器件,我們可以通過(guò)無(wú)熱變形的封裝來(lái)提高器件質(zhì)量并降低成本。
  • 功能性晶片的制造
    通過(guò)接合不同材料的裸晶片,可以制造出各種功能性晶片。
  • 直接接合的應(yīng)用
    不使用樹(shù)脂、合金等中間材料,直接接合,因此器件特性得到改善。
    此外,中間材料的成本可以降低到零。
  • 晶片堆疊
    可以將硅通孔 (TSV) 的晶片多層接合,從而用于制造 3D 集成器件。
    不加熱,可確保器件的可靠性。
    此外,由于沒(méi)有熱變形,可以將器件的內(nèi)應(yīng)力降至*低。

引進(jìn)設(shè)備的優(yōu)勢(shì):
  • 通過(guò)無(wú)熱變形的接合大大提高了產(chǎn)量。
  • 由于可以接合各種類型的材料,因此大大擴(kuò)展了器件設(shè)計(jì)的自由度。
  • 由于沒(méi)有熱變形,器件可以做得更小更薄,并且可以提高每枚晶片的產(chǎn)量。
  • 強(qiáng)接合可*大限度減少接合面積并提高每枚晶片的產(chǎn)量。
  • 由于是直接接合,因此無(wú)需使用樹(shù)脂或金屬作為中間材料,可以降低成本。
  • 無(wú)需特殊的實(shí)用程序,并且可以將運(yùn)行成本保持在較低水平。

客戶開(kāi)發(fā)支持系統(tǒng):
我們通過(guò)名為“Bond Mate”的程序,為利用常溫接合技術(shù)開(kāi)發(fā)器件的客戶提供全方位支持。從開(kāi)發(fā)初期的材料檢驗(yàn)到量產(chǎn)啟動(dòng)和售后服務(wù)提供始終如一的支持。
我們通過(guò)分析/設(shè)備評(píng)估并結(jié)合工程師的意見(jiàn),為客戶的開(kāi)發(fā)階段提供接合技術(shù)支持。

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