主營(yíng)產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品,專為需要 100 nm 或更小的細(xì)顆??刂频撵o電消除應(yīng)用而開(kāi)發(fā),例如在先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝中。
詳情介紹:
特征
■單晶硅電極在全球范圍內(nèi)擁有****的
應(yīng)用記錄,具有超低顆粒特性,避免了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)靜電消除性能
■低電位擺幅特性,即使在高電壓下也可使用距離為 100 mm,離子平衡在桿長(zhǎng)度上幾乎沒(méi)有偏差 ■
智能控制電路始終自動(dòng)管理離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
■可通過(guò) 1/4 圈拆卸的更換 電極有助于減少維護(hù)人員-小時(shí)。MP
方法具有非常小的電位擺幅,這簡(jiǎn)化了設(shè)置。此外,小的電位擺幅有效地起到了將離子平衡長(zhǎng)期保持在控制標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的作用
。桿的長(zhǎng)度根據(jù)EFEM設(shè)置半導(dǎo)體前端工藝
■緊湊型設(shè)計(jì),內(nèi)置 24V DC 驅(qū)動(dòng)控制器
■全球范圍內(nèi)的**支持網(wǎng)絡(luò)
規(guī)格
型號(hào) 5635 AeroBar MP
輸入電壓 | 24V 直流+/-10% |
---|---|
輸出電壓 | 高達(dá)約 13.5kv pp 可調(diào) |
安裝距離 | 100mm 至 1000mm(無(wú)空氣吹掃) |
離子發(fā)生方式 |
電暈放電方式 MP(脈沖調(diào)制)方式 調(diào)制頻率 1 ~ 33 Hz |
離子平衡 |
自動(dòng)平衡 條內(nèi) <+/-10V 條正下方 位置差 <+/-10v (600 mm 距離) |
電極 | 單晶硅電極可更換 |
吹掃氣體 | 清潔干燥空氣或N2 |
*大吹掃壓力 | 310Kpa |
臭氧量 | <0.05ppm(24小時(shí)積分值) |
信號(hào)輸出 | 報(bào)警IO集電極開(kāi)路輸出 |
尺寸 |
高78mm x 深34mm x 長(zhǎng)度 450/600 /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下 |
外部的 | ABS樹(shù)脂 |
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