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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本SIMCO思美高除靜電離子棒5635 naitokikai有售

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品廠商:日本SIMCO
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品,專為需要 100 nm 或更小的細(xì)顆??刂频撵o電消除應(yīng)用而開(kāi)發(fā),例如在先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝中。
詳情介紹:

特征

■單晶硅電極在全球范圍內(nèi)擁有****的
應(yīng)用記錄,具有超低顆粒特性,避免了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)靜電消除性能
低電位擺幅特性,即使在高電壓下也可使用距離為 100 mm,離子平衡在桿長(zhǎng)度上幾乎沒(méi)有偏差 ■
智能控制電路始終自動(dòng)管理離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
可通過(guò) 1/4 圈拆卸的更換 電極有助于減少維護(hù)人員-小時(shí)。MP
方法具有非常小的電位擺幅,這簡(jiǎn)化了設(shè)置。此外,小的電位擺幅有效地起到了將離子平衡長(zhǎng)期保持在控制標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的作用
桿的長(zhǎng)度根據(jù)EFEM設(shè)置半導(dǎo)體前端工藝
緊湊型設(shè)計(jì),內(nèi)置 24V DC 驅(qū)動(dòng)控制器
全球范圍內(nèi)的**支持網(wǎng)絡(luò)

規(guī)格

型號(hào) 5635 AeroBar MP

輸入電壓 24V 直流+/-10%
輸出電壓 高達(dá)約 13.5kv pp 可調(diào)
安裝距離 100mm 至 1000mm(無(wú)空氣吹掃)
離子發(fā)生方式 電暈放電方式
MP(脈沖調(diào)制)方式 調(diào)制頻率 1 ~ 33 Hz
離子平衡 自動(dòng)平衡
條內(nèi) <+/-10V 條正下方 位置差 <+/-10v
(600 mm 距離)
電極 單晶硅電極可更換
吹掃氣體 清潔干燥空氣或N2
*大吹掃壓力 310Kpa
臭氧量 <0.05ppm(24小時(shí)積分值)
信號(hào)輸出 報(bào)警IO集電極開(kāi)路輸出
尺寸 高78mm x 深34mm x 長(zhǎng)度
450/600
/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下
外部的 ABS樹(shù)脂
什么是擴(kuò)展 ISO Class1,10nm?
擴(kuò)展 ISO 1 級(jí),10nm 這是 ION Systems 獨(dú)特定義的清潔度定義,旨在支持細(xì)顆粒管理。ISO14644-1 規(guī)定*小粒徑為 100nm。擴(kuò)展 ISO Class 1,10nm 采用與 ISO14644-1 相同的允許顆粒數(shù)計(jì)算公式,對(duì)于粒徑為 10nm 或更大的顆粒,允許顆粒數(shù)為 1200pc/m3 (34 pc/ft3)。
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