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擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
模型5635航空酒吧MP離子發(fā)生器是對(duì)應(yīng)于先進(jìn)半導(dǎo)體制造過(guò)程中開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品,如100納米以下的微粒管理的應(yīng)用程序中和超低顆粒是必要的地方
http://www.tamasaki.cn/
擴(kuò)展ISO Class 1,10 nm?
特點(diǎn)
規(guī)范
5635型AeroBar MP
輸入電壓
24 V DC +/- 10%
輸出電壓
高達(dá)約13.5kv pp可調(diào)
安裝距離
100毫米至1000毫米(無(wú)空氣吹掃)
離子生成方法
電暈放電方式
MP(脈沖調(diào)制)方式調(diào)制頻率1?33Hz
離子平衡
自動(dòng)平衡調(diào)整方法
<+/- 10 V由于位置正下方的位置差異<+/- 10 v
(600 mm距離)
電極
單晶硅電極可交換
吹掃氣體
清潔干燥空氣或N 2
*大吹掃壓力
310 Kpa
臭氧量
<0.05 ppm(24小時(shí)積分值)
信號(hào)輸出
報(bào)警IO開(kāi)集輸出
維
高度78毫米x深度34毫米x長(zhǎng)度如下
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
毫米
外觀
ABS樹(shù)脂
關(guān)于擴(kuò)展ISO等級(jí)1,10納米?ION Systems專(zhuān)門(mén)定義了清潔度的定義,以便應(yīng)對(duì)精細(xì)的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一個(gè)粒徑10nm的