概述

EllipsoStep 系統(tǒng)是目前*快的成像橢偏儀。EllipsoStep 可以在 4 秒內(nèi)測量全分辨率橢圓圖像（Psi、Delta、強度）。專門設(shè)計的光學組件使 EllipsoStep 系統(tǒng)能夠使用從 250nm 到 1000nm 的擴展波長范圍測量樣品。

與速度明顯較慢且需要插值算法來測量完整圖像的傳統(tǒng)歸零橢圓偏振成像儀不同，EllipsoStep 可以快速直接地逐像素測量樣品的橢圓偏振特性。

EllipsoStep 成像橢圓儀系統(tǒng)可以執(zhí)行橫向分辨率小于 1 um 的測量，這比使用微點技術(shù)的非常先進的傳統(tǒng)橢圓儀小 50 倍。

EllipsoStep 系統(tǒng)使用各種光學附件，允許用戶實時查看樣品的顯微圖像，并且當與 Axometrics 的優(yōu)異分析特性結(jié)合使用時，可以測量薄膜厚度和折射率等特性。與所有其他 Axometrics 測量系統(tǒng)一樣，EllipsoStep 還包括各種可用的桌面、大型和生產(chǎn)測量夾具。

應用

EllipsoStep 系統(tǒng)允許逐點橢圓測繪，能夠測量各種薄膜應用的厚度和折射率特性。包括
半導體：橢圓偏光法是半導體測量的當前行業(yè)標準。通過添加顯微成像功能，用戶可以更好地改進他們的制造流程。
LCD/OLED 顯示器： LCD 和 OLED 顯示器都使用薄膜沉積技術(shù)。Axometrics 目前可以利用我們在顯示技術(shù)方面的經(jīng)驗，并將其應用于制造過程的這些部分。
聚合物：聚合物薄膜目前用于顯示器行業(yè)的薄膜結(jié)構(gòu)，可以使用 EllipsoStep 進行表征。
太陽能電池：替代能源是一個非常大的新興市場，而橢圓偏光儀是開發(fā)下一代太陽能電池的關(guān)鍵工具。
石墨烯：人們對石墨烯等二維材料的新興技術(shù)非常感興趣。成像橢圓偏振儀是表征這些快速發(fā)展的技術(shù)的新工藝的寶貴工具。

示例測量

EllipsoStep 軟件為測量和分析圖案樣品提供了一個方便的界面。測量完成后，操作員可以返回并測試圖像中的不同區(qū)域。下面的示例顯示了跨越兩個不同區(qū)域的線掃描：一個在 Si 上有 95 nm 的 SiO2，另一個在 Si 上有天然氧化物。

下面的示例顯示了在靠近基板邊緣的大型濺射機上使用的蔭罩角處的涂層厚度滾降。可以計算 2D 曲面圖或 1D 線掃描。即使厚度因圖像內(nèi)的多個延遲級而異，EllipsoStep 也可以確定圖像內(nèi)任何位置的正確薄膜厚度。

憑借其 1 μm 的空間分辨率，EllipsoStep 可以直接測量表面粗糙度或厚度均勻性。

還可以同時測量測試元件組 (TEG) 內(nèi)的多個區(qū)域。模式匹配例程可以自動識別圖像中的元素，并自動將正確的橢圓配方應用于每個區(qū)域。

聯(lián)系 Axometrics 討論您的應用或提供用于演示測量的樣品。 

參數(shù)

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