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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:OTSUKA大塚電子OPTM系列埋頭式內(nèi)藤代理

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
利用顯微鏡分光膜厚儀OPTM系列的高精度和微小光斑,它提供在線膜厚信息,例如晶圓圖案化后的微小區(qū)域測量。 銷售中心-重慶內(nèi)藤naitokikai
詳情介紹:

產(chǎn)品信息

特征
  • 膜厚測量范圍 1 nm 至 92 μm(SiO 2換算)
  • 薄膜厚度值的高重復(fù)性
  • 每點1秒以內(nèi)的高速測量
  • 圖案可瞄準(zhǔn)微小點(*小Φ3μm)
  • 適用于圖案化晶圓的膜厚測繪
  • 可以獲取用于圖案對齊的圖像

 

設(shè)備內(nèi)置鏡像

測量數(shù)據(jù)圖像

 

測量點周圍的圖像

 

自適應(yīng)過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

沉積過程

這樣的

規(guī)格

OPTM頭規(guī)格表



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渝公網(wǎng)安備 50019002501360號

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